把製程需要的高純度氣體與化學品，透過供應櫃及管線送到設備。重點是純度、穩定流量與安全控制。這些公司做供應系統工程，不等於製造所有氣體或化學品。
高純度化學品、氣體供應等製程供應系統。
高科技廠房整合、設備及自動化供應系統；另有設備材料業務。
無塵室與機電系統整合，涵蓋空調、製程供應及相關廠務工程。
無塵室、機電與製程系統，以及整廠工程整合。